高純氣體的分析 高純氣體分析的核心是對(duì)其中的規(guī)定雜質(zhì)進(jìn)行定性、定量測(cè)定。由于高純氣體中的限定雜質(zhì)數(shù)目多, 且含量極低, 通常在 10-6～ 10-7范圍, 因此對(duì)測(cè)試設(shè)備和分析人員均有較高的要求。 

目前, 用于高純氣體測(cè)試的設(shè)備主要有:色譜儀、質(zhì)譜儀、色- 質(zhì)聯(lián)用儀、光譜儀、電化學(xué)儀器、露點(diǎn)儀及各種專項(xiàng)測(cè)試儀表。經(jīng)典的化學(xué)分析方法也是測(cè)定化學(xué)活性雜質(zhì)的常用手段。 從事高純氣體分析的分析人員應(yīng)熟悉氣體分析的一般過(guò)程, 具有正確選擇檢測(cè)方法的能力, 并通過(guò)實(shí)踐掌握高純氣體分析的特殊技能。擁有具備資格的分析人員和適宜的測(cè)試設(shè)備, 是開(kāi)展高純氣體檢測(cè)工作的前提。 隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展, 對(duì)氣體產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來(lái)越高, 對(duì)高純氣體分析的測(cè)試技術(shù)要求亦在不斷提高。可以斷言, 高純氣體測(cè)試手段及方法的研究是一項(xiàng)永無(wú)止境的工作。